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水环真空泵牵引分子泵的工作原理

点击次数:?? 更新时间:2018-12-14 17:50?? ??来源:http://www.hbyangyang.com/ 【关闭
          水环真空泵磁悬浮轴承技术的发展给涡轮分子泵的研发带来了新的革命。应用磁悬浮轴承的分子泵,具有无需润滑、高转速、低振动、低噪音等优点,有利于提高分子泵的抽速和压缩比水环真空泵获得无油真空环境。现在国际上的涡轮分子泵从极小型到超大型都有相关产品,小的才1.5Kg,而大泵则可达到3500kg,其中轴系设计以使用五自由度的磁悬浮支撑系统为主流。我国于60年代成功研制了卧式涡轮分子泵,后来又迅速发展了铣制和扭制叶片的立式涡轮分子泵。80年代,中科院北京真空物理实验室与大专院校合作成功研制出双侧螺旋槽式和圆盘型复合分子泵。些单位在分子泵方面所做的研究工作和取得的成果,对发展我国分子泵产品的种类和提高分子泵的研发水平都起到了很大的推动作用。哈工大现代设计实验室在磁悬浮轴承的研制方面具有近20年的历史,先后开发出了轴向磁悬浮支撑系统、五自由度磁悬浮轴承支撑的磨头等。
          还在磁悬浮分子泵控制系统的研制方面做了大量的研究工作目前国内分子泵的制造厂商主要有沈阳科学仪器研究中心和北京科学仪研究中心。我国在分子泵生产方面规格齐全,基本上能满足国内和出口的需要。但由于磁悬浮分子泵技术在我国发展不成熟,在国外属于高度保密技术,因此国产的分子泵在性能上远远达不到国外的水平。本课题也在磁悬浮涡轮分子泵的设计进行了重点研究,力求实现可靠、洁净超高真空环境的获得。牵引分子泵的工作原理,主要来源于盖德提出的气体分子牵引模根据气体分子牵引理论,一矩形槽相对平板沿某一方向做快速平动,此时附着在矩形槽内边界面上的气体分子也会跟着做同一方向的平动,通过气体之间的碰撞,还带动了矩形槽内其它气体分子的运动,进而会在出口两端产生不同的压力1P和2P,造成压力差,实现抽真空的作用。

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